خرطوشة فلتر ملفوفة

تتكون ملاط CMP عادةً من مسحوق كاشط بحجم النانو مشتت في محلول تفاعلي كيميائي. بينما يعمل الحفر الكيميائي على تليين المادة، فإن الكشط الميكانيكي يزيل المادة، وبالتالي تسطيح السمات الطبوغرافية وجعل السطح مستوياً.

يتم لف خرطوشة الفلتر الملفوفة حراريًا بواسطة ألياف مكونة من عنصرين بنقاط انصهار مختلفة، والتي يمكن أن تحافظ على ثبات حجم المسام تحت درجة حرارة عالية وضغط مرتفع، وتتمتع دائمًا بكفاءة الترشيح الأولية.

يتفادى التصميم المتدرج من الخارج إلى الداخل انسداد سطح غشاء المرشح بواسطة الطين المكثف بسرعة كبيرة، ويستفيد بشكل كامل من مساحة الاحتفاظ بالأوساخ، ويتمتع بقدرة عالية على الاحتفاظ بالأوساخ وعمر خدمة أطول.

يمكن للتصميم المتعرج الفريد من نوعه تحقيق ترشيح دقيق لطين CMP. اعتراض الجسيمات الكبيرة بكفاءة وإطلاق الجسيمات الفعالة.

هيكل مادة البولي بروبيلين بالكامل، باستخدام تقنية اللحام الحراري، بدون مواد لاصقة، وقليل جدًا من الترشيح، والتحكم الفعال في ترسيب الترشيح.

يمنع هيكل الغطاء الشبكي الفريد من نوعه ألياف عنصر الفلتر من السقوط.

يعد التسطيح الميكانيكي الكيميائي (أو التلميع الميكانيكي الكيميائي) [CMP] خطوة حاسمة تُستخدم عدة مرات في عملية تصنيع أشباه الموصلات في كل طبقة من الرقاقة لإزالة المواد الزائدة وإنشاء سطح أملس.