Cartucho filtrante envuelto
El cartucho filtrante envuelto adopta un diseño de estructura enrollada, que puede filtrar con precisión el lodo CMP, interceptar eficazmente las partículas grandes y liberar las partículas efectivas. La estructura de gradiente de fuera a dentro aumenta el espacio de retención de suciedad y prolonga la vida útil del elemento filtrante.
- Precipitaciones escasas
- Gran capacidad de retención de suciedad, larga vida útil
- Filtración eficaz
- Prevenir la pérdida de fibras
Las lechadas CMP suelen consistir en un polvo abrasivo de tamaño nanométrico disperso en una solución químicamente reactiva. Mientras que el grabado químico ablanda el material, la abrasión mecánica lo elimina, aplanando así las características topográficas y haciendo que la superficie sea plana.
El cartucho filtrante envuelto se enrolla térmicamente mediante fibras de dos componentes con diferentes puntos de fusión, que pueden mantener el tamaño de los poros constante a alta temperatura y alta presión, y siempre tienen la eficiencia de filtración inicial.
El diseño de gradiente desde el exterior hacia el interior evita la obstrucción de la superficie de la membrana del filtro por el lodo condensado demasiado rápido, aprovecha al máximo el espacio de retención de suciedad, y tiene una alta capacidad de retención de suciedad y una vida útil más larga.
El diseño único de bobinado puede lograr una filtración precisa de los lodos CMP. Intercepta eficazmente las partículas grandes y libera las partículas efectivas.
Toda la estructura de material de polipropileno, utilizando la tecnología de soldadura térmica, sin adhesivos, muy poca lixiviación, controlando eficazmente la precipitación de la lixiviación.
La exclusiva estructura de la cubierta de red impide que se caiga la fibra del elemento filtrante.
La planarización química mecánica (o pulido) [CMP] es un paso crítico que se utiliza varias veces en el proceso de fabricación de semiconductores en cada capa de la oblea para eliminar el exceso de materiales y crear una superficie lisa.
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