Cartucho filtrante de proceso húmedo
El cartucho filtrante del proceso húmedo pertenece a cartucho filtrante de pliegues. Cartucho de filtro de proceso húmedo se compone de membrana de PTFE y jaula de PFA, con alta velocidad de flujo y excelente compatibilidad química. Cada cartucho filtrante se limpia con agua ultrapura de 18 MΩ para garantizar la limpieza del cartucho filtrante.
- Medio filtrante: PTFE
- Núcleo interior: PFA
- Fuera núcleo: PFA
- Junta tórica: FEP
- Caudal
- 500 GPM
- Clasificación Micron
- 5, 10, 25 μm
- Temperatura máxima
- hasta 80°C
- 100% integridad probada y enjuagada con agua ultrapura de 18 MΩ.
- Construcción totalmente de fluoropolímero resistente a prácticamente todos los productos químicos y gases
- Funciona en entornos con temperaturas muy altas
- Su estructura única proporciona una gran capacidad de retención de suciedad y un elevado caudal
El cartucho filtrante para procesos húmedos pertenece a la familia de cartuchos filtrantes plisados. Combina una membrana de PTFE con una jaula de PFA, lo que proporciona un alto caudal y una excelente compatibilidad química.
El objetivo del proceso húmedo es eliminar el polvo fino, los iones metálicos, el óxido nativo y los residuos orgánicos de la oblea mediante una solución química, sin dañar la superficie de la oblea ni sus propiedades eléctricas.
Los reactivos químicos utilizados en estos procesos son materiales críticos para el proceso húmedo en la industria electrónica. Dado que los límites de contenido de impurezas son extremadamente estrictos, la filtración es esencial.
Para resistir estos reactivos altamente corrosivos, fabricamos el cartucho con PFA y PTFE resistentes a la corrosión. Estos materiales mantienen el cartucho intacto durante el servicio, mientras que la membrana nanométrica de alta precisión proporciona la exactitud de filtración requerida.
Todos los cartuchos se fabrican en un taller limpio y se somete a pruebas de integridad 100%, cumpliendo las estrictas normas de limpieza exigidas para las aplicaciones de semiconductores. Las materias primas y el almacenamiento durante el proceso se gestionan mediante un sistema de gestión de calidad ISO 9001.