Cartucho electrónico de filtro de lodos
El cartucho electrónico de filtro de lodo pertenece al filtro de cápsula. Adopta un diseño de estructura sinuosa, que puede filtrar con precisión el lodo CMP, interceptar eficazmente las partículas grandes y liberar las partículas efectivas. La estructura de gradiente de fuera a dentro aumenta el espacio de retención de suciedad y prolonga la vida útil del elemento filtrante.
- Medio filtrante: Polipropileno (PP)
- Jaula/núcleo/tapas finales: Polipropileno (PP)
- Micras: 0,5μm, 1μm, 3μm, 5μm, 10μm, 25μm, 40μm, 50μm.
- Presión diferencial máxima de funcionamiento: 4bar@21℃/2,4 bar @ 80 ℃
Sin la CMP (planarización químico-mecánica), los dispositivos semiconductores avanzados de múltiples niveles de interconexión no serían posibles.
Los lodos CMP actúan química y mecánicamente sobre herramientas especiales (pulidoras) para alisar las superficies de las obleas. Los filtros bien diseñados eliminan las partículas grandes y duras y los aglomerados no deseados de las lechadas CMP que pueden caer sobre la superficie de la oblea y rayarla, al tiempo que permiten que las partículas de trabajo de ingeniería de la lechada pasen a través del filtro.
Los crecientes retos del proceso de semiconductores dependen del agua, los productos químicos, los disolventes y los gases libres de partículas de tamaño submicrónico o nanométrico que matan el rendimiento, así como de contaminantes metálicos, iónicos y orgánicos que pueden lixiviarse de los materiales humedecidos.
La filtración de estos fluidos es un requisito crítico en los procesos de semiconductores y otros procesos microelectrónicos.
Los filtros y dispositivos de depuración deben eliminar las partículas procedentes de fuentes de partículas anteriores sin aportar otros contaminantes no deseados.
La exclusiva estructura de la cubierta de red impide que se caiga la fibra del elemento filtrante.
El diseño de gradiente desde el exterior hacia el interior evita la obstrucción de la superficie de la membrana del filtro por el lodo condensado demasiado rápido, aprovecha al máximo el espacio de retención de suciedad, y tiene una alta capacidad de retención de suciedad y una vida útil más larga.
Toda la estructura de material de polipropileno, utilizando la tecnología de soldadura térmica, sin adhesivos, muy poca lixiviación, controlando eficazmente la precipitación de la lixiviación.
El diseño único de bobinado puede lograr una filtración precisa de los lodos CMP. Intercepta eficazmente las partículas grandes y libera las partículas efectivas.
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